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LINE TECH质量流量计

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LINE TECH自1997年成立后迈进了气体控制相关技术工程,终于诞生出今天的M系列,MFC/MFM产品。
LINE TECH气体质量流量控制器和流量计广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入,直拉式晶炉,精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。
LINE TECH质量流量控制器主要参数:
流量范围: 0.005-125(slpm)
响应时间: ≤2
精 度: ≤1%
重 复 性: ±0.25
输出信号: 0-5vdc或4-20mA
供电电压: 15-28vdc
温度范围: 0-50℃


LINE TECH质量流量计相关型号:
M3030V M3030A M3050V M3050A M3100V M3100A
M2030V M2030A M2050V M2050A M2100V M2100A

 

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